随着纳米技术的日益发展,集成电路的集成密度越来越高,一些表面电阻率很高的高分子材料如塑料、橡胶制品在广泛应用的同时,良率堪忧。据悉,美国电子工业一年因ESD造成的损失就达到了几百亿美圆。
ESD electrostatic discharge 是电子工业中普遍存在的“硬病毒“,在某些内外因条件具备的时候便会发作,因此必须要建立起有效的静电控制程序[CL((1] 。为了减少静电的产生与积累,荣盛源科技所研发的相关设备则做出了应有的努力,他们在器件和产品的设计中,充分体现了静电防护的思想,使其设备能更合理地避免ESD的伤害。